一种面向压电型力敏芯片阻抗特性测试装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种面向压电型力敏芯片阻抗特性测试装置，包括视觉观察组件及与视觉观察组件连接的微动对准平台，所述微动对准平台上设置有压电型力敏芯片晶元，所述微动对准平台连接有阻抗测试仪，所述阻抗测试仪电连接有计算机，通过设置有视觉观察组件及微动对准平台，视觉观察装置和微动对准平台的芯片夹盘适用于该类型芯片的测试，探针夹具能够设定特殊的标定参数，从而可抑制白噪2个数量级，进一步提高了测试的准确性，阻抗测试仪器，匹配有压电型力敏芯片的等效电路模型，可直接对该芯片进行测试，提高测试频率分辨率6个数量级，阻抗精度达5个数量级，计算机可输入VBA程序，可快速实现测量数据的统计和计算，有利于芯片的批量化测试。
基本信息
专利标题 ：
一种面向压电型力敏芯片阻抗特性测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020740142.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-30
授权号 ：
CN213240317U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
张汪根刘大俊吕文硕
申请人 ：
上海肇擎传感技术有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区华浦路480号1幢2层D区208室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020740142.2
主分类号 ：
G01R27/02
IPC分类号 ：
G01R27/02 G01R31/28 G01R1/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R27/00
测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置
G01R27/02
电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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