本实用新型提供了一种加热丝、一种加热器及一种加热组件，所述加热组件包括主加热器和辅助加热器，其中辅助加热器包括一绝缘板，所述绝缘板上方设置一加热丝，所述加热丝包括加热段和位于加热段两端的接头，所述加热段包括若干互相平行的子加热段和连接两相邻子加热段的弧形加热段，所述若干平行的子加热段大致为直线子加热段。所述绝缘板上设置两通孔，所述绝缘板下方设置两接线柱，所述接线柱贯穿所述通孔与所述加热段两端的接头电接触。本实用新型的加热器具有占地面积小、发热功率大的优点，适用于与主加热器配合，对基片承载台的局部区域温度进行灵活调节。