加热器

授权

摘要

本实用新型公开了一种加热器，包括：主加热器，设置在托盘的正下方，所述托盘上承载有衬底，所述主加热器用于对所述托盘及所述托盘上的所述衬底进行加热；外加热器，环绕设置在所述主加热器的外侧，与所述主加热器大致在同一平面上；辅加热器，设置在所述主加热器的正下方，与所述主加热器之间存在一定的间隙；所述主加热器、所述外加热器和所述辅加热器的中心在同一个铅垂线上。本实用新型的加热器通过主加热器、外加热器和辅加热器的紧密配合，可以使得加热器的温度高、温场均匀、性能稳定、可快速升降温。

基本信息

专利标题：

加热器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922334779.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-24

授权号：

CN211471547U

授权日：

2020-09-11

发明人：

向洪春陈长荣

申请人：

上海思擎企业管理合伙企业（有限合伙）

申请人地址：

上海市闵行区紫星路588号2幢14层302室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201922334779.1

主分类号：

C23C16/46

IPC分类号：

C23C16/46