一种用于气瓶内表面钝化的装置
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摘要
本发明公开一种用于气瓶内表面钝化的装置，用于通过气相沉积对气瓶内表面进行化学惰性化处理。该装置包括第一加热装置及固体升华装置，第一加热装置用于对待处理的气瓶加热，固体升华装置包括升华反应釜及第二加热装置，升华反应釜设置有用于钝化试剂放入的进样口及用于升华物质流出的出气口，出气口通过带流量阀的连接管线与待处理的气瓶连接，第二加热装置用于对所述升华反应釜进行加热。本装置还在升华反应釜中设置导热管用于提高釜内温度的均匀性。本实用新型能快速、有效的在气瓶内表面壁上通过化学气相沉积方法沉积一层惰性钝化膜，用于微痕量标准物质的研究。
基本信息
专利标题 ：
一种用于气瓶内表面钝化的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020749073.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-08
授权号 ：
CN212505059U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
李璞张鹏辉李鹏辉王宇蒋昌怀
申请人 ：
四川中测标物科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市东三环路二段龙潭工业园区成致路48号三号办公楼1层
代理机构 ：
成都九鼎天元知识产权代理有限公司
代理人 ：
钱成岑
优先权 ：
CN202020749073.1
主分类号 ：
C23C16/448
IPC分类号 ：
C23C16/448 C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/448
产生反应气流的方法，例如通过母体材料的蒸发或升华
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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