光伏电池表面钝化系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种光伏电池表面钝化系统，至少包括多功能PECVD设备、退火炉及PEALD设备，退火炉位于多功能PECVD工序之后，退火炉和多功能PECVD设备的工艺腔室均与同一对应的石墨舟匹配，石墨舟载有硅片在退火炉和多功能PECVD设备之间整体传送，所述多功能PECVD设备对硅片的背面镀氧化硅膜、非晶硅层以及对非晶硅层的原位掺杂，对应的反应温度是400～600℃，所述退火炉将镀膜后的硅片加热至600℃以上，使非晶硅层转化为多晶硅层，然后降温至400～600℃；所述PEALD设备对硅片的正面镀氧化铝膜和氮化硅膜。本实用新型简化设备整体结构和现有工序步骤，省去清洗刻蚀工序，降低对硅片正面镀膜的不利影响，使操作更加便捷，提高生产效率。

基本信息

专利标题：

光伏电池表面钝化系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921294489.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-12

授权号：

CN210429833U

授权日：

2020-04-28

发明人：

吴晓松陈庆敏李丙科李建新

申请人：

无锡松煜科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区硕放街道工业园区五期振发二路16号

代理机构：

江苏漫修律师事务所

代理人：

周晓东

优先权：

CN201921294489.2

主分类号：

H01L31/0216

IPC分类号：

H01L31/0216 H01L31/18 H01L21/02