本实用新型公开了一种背表面钝化电池片镀膜设备，其包括电池载板、运输装置和沉积装置，电池载板用于承载电池片，电池载板包括支撑板和遮挡板，支撑板位于遮挡板上方，支撑板上设有贯穿支撑板的配合槽，电池片配合在配合槽内，遮挡板上设有缝隙，运输装置用于运输电池载板，沉积装置设在运输装置的下方，沉积装置用于朝向电池载板喷射氧化铝沉积气流和氮化硅沉积气流，氧化铝沉积气流与氮化硅沉积气流能够通过穿过缝隙以实现电池片镀膜。