一种钝化镀膜系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种钝化镀膜系统，属于太阳能电池制造技术领域，解决了现有系统钝化镀膜时间长、钝化仓和PECVD工艺仓温差大，易于出现碎片的问题。本实用新型的钝化镀膜系统包括进料仓、抗PID装置、PECVD工艺仓和出料仓；抗PID装置包括气瓶、诱导装置和钝化仓；诱导装置能够在常温下诱发O2产生O3；钝化仓、PECVD工艺仓和出料仓的仓门上均设有位置传感器，用于实现各个仓门的自动开启和关闭。本实用新型实现了常温下形成SiO2钝化膜。
基本信息
专利标题 ：
一种钝化镀膜系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020064617.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-13
授权号 ：
CN211125680U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
于义超陈斌张俊兵
申请人 ：
晶澳（扬州）太阳能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市经济开发区建华路1号
代理机构 ：
北京天达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
丛洪杰
优先权 ：
CN202020064617.0
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18
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法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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