微机电系统压力传感器
授权
摘要
本申请提供了一种微机电系统压力传感器，该微机电系统压力传感器包括第一电容，第一电容包括：相对设置的第一电极和第二电极，第一电极具有感测区域；过滤部，设置在感测区域的与空气连通的一侧。通过在感测区域上设置过滤部能够提高微机电系统压力传感器的可靠性。
基本信息
专利标题 ：
微机电系统压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020759610.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-09
授权号 ：
CN212246207U
授权日 ：
2020-12-29
发明人 ：
刘迪李刚胡维
申请人 ：
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室
代理机构 ：
北京布瑞知识产权代理有限公司
代理人 ：
孟潭
优先权 ：
CN202020759610.0
主分类号 ：
B81B7/04
IPC分类号 ：
B81B7/04 B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/04
类似的微观结构装置的网络或排列
法律状态
2020-12-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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