微机电系统力学传感器、传感器单体及电子设备
授权
摘要
本说明书实施例提供一种微机电系统力学传感器、传感器单体及电子设备。微机电系统力学传感器包括：第一支撑件；位于第一支撑件上的第一元件；可移动部件，该可移动部件能接受力学作用以相对于第一支撑件产生第一位移；以及位于可移动部件上的第二元件；其中，在未施加所述力学作用的工作情况下，第二元件位于第一元件的元件平面外侧；其中，第一元件和第二元件中的一个是磁阻，另一个是第一电流线；以及其中，由第一电流线对所述磁阻所施加的磁场随所述第一位移变化，以使得所述磁阻的阻值变化，从而产生传感器信号。
基本信息
专利标题 ：
微机电系统力学传感器、传感器单体及电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112014001A
申请号 ：
CN202010858551.7
公开（公告）日 ：
2020-12-01
申请日 ：
2020-08-24
授权号 ：
CN112014001B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
邹泉波冷群文丁凯文赵海轮安琪周汪洋王喆宋青林
申请人 ：
歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
代理机构 ：
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
吴秀娥
优先权 ：
CN202010858551.7
主分类号 ：
G01L1/12
IPC分类号 ：
G01L1/12 G01L9/14 G01R33/09
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/12
通过测量施加应力引起的材料磁性质的变化
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2020-12-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/12
申请日 : 20200824
申请日 : 20200824
2020-12-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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