微机电传感器
授权
摘要
公开了一种微机电传感器，微机电传感器包括：埋层，包括多个第一增高区域；位于埋层上的多个检测电极和多个布线电极，多个检测电极分别覆盖多个第一增高区域；位于多个检测电极和多个布线电极上方的扭摆臂，扭摆臂、多个检测电极和多个布线电极互不接触；位于扭摆臂上方的扭摆和多个可动扭摆块，多个可动扭摆块通过扭摆臂与扭摆连接，多个可动扭摆块和扭摆臂形成可动结构；位于扭摆臂上方的多个固定电极；位于埋层上支撑壁，位于支撑壁上的保护壁，支撑壁和保护壁围成空腔，可动结构、扭摆、多个检测电极、多个布线电极和多个固定电极位于空腔中。本实用新型实施例提高了微机电传感器的灵敏度，改善了可动结构在冲击下断裂的问题。
基本信息
专利标题 ：
微机电传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022170714.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
CN214122269U
授权日 ：
2021-09-03
发明人 ：
季锋闻永祥刘琛贺锦
申请人 ：
杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰集昕微电子有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街（东）308号
代理机构 ：
北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡纯
优先权 ：
CN202022170714.0
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125 B81B5/00 B81C1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2021-09-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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