微机电传感器和电子设备
授权
摘要
本实用新型公开一种微机电传感器和电子设备，该微机电传感器包括基板、MEMS传感器芯片和金属外壳，所述基板和所述金属外壳连接形成内腔，所述MEMS传感器芯片收容于所述内腔，所述MEMS传感器芯片包含振膜和固定架，所述振膜、所述固定架围合形成MEMS传感器芯片背腔，所述基板设有下凹的避空位，所述振膜投影于所述基板上的投影轮廓与至少部分所述避空位重合，所述避空位与所述背腔连通，以此扩大传感器芯片背腔空气容积，并增大所述MEMS传感器芯片背腔振膜的振动空间。本实用新型技术方案提高了微机电传感器的灵敏度和信噪比，节约了研发成本。
基本信息
专利标题 ：
微机电传感器和电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020082152.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-14
授权号 ：
CN212222412U
授权日 ：
2020-12-25
发明人 ：
汤小贾
申请人 ：
广州市意芯微电子有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区开源大道11号B6栋601室（部位：606-619房）
代理机构 ：
深圳市恒程创新知识产权代理有限公司
代理人 ：
张小容
优先权 ：
CN202020082152.1
主分类号 ：
B81B7/02
IPC分类号 ：
B81B7/02 B81B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/02
包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统
法律状态
2020-12-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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