转台轴线方向位移测量装置

授权

摘要

本实用新型提供了一种转台轴线方向位移测量装置,包括双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、检测系统400、转台反射件510、转台520、支撑平台540、缩束组件700以及光隔离组件800，转台520为待测量件，转台反射件510设置在转台520上，双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、缩束组件700以及光隔离组件800均安装在支撑平台540上。本实用新型容易实现共光路结构，使测量系统具有很好的抗干扰性与稳定性，实现了光隔离的功能，有效防止回授光带来的双频激光头失稳，相位传感器没有读数的问题；本实用新型可获得更高的测量精度，适合五轴转台的现场校准需求。

基本信息

专利标题：

转台轴线方向位移测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020790141.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-13

授权号：

CN211954036U

授权日：

2020-11-17

发明人：

李艳红柴娟芳赵吕懿沈涛朱炜陈强华刘斌超荆娜张琰冯晓晨田义杨扬周麟

申请人：

上海机电工程研究所;北京理工大学;北方工业大学

申请人地址：

上海市闵行区元江路3888号（八部）

代理机构：

上海汉声知识产权代理有限公司

代理人：

胡晶

优先权：

CN202020790141.9

主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/02