一种键合线加热退火装置

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摘要

本实用新型涉及键合线加工装置技术领域，具体公开了一种键合线加热退火装置，包括加热结构、预热结构和冷却结构，加热结构一端设置有保温连接管，保温连接管的另一端和预热结构的一端开口连通，加热结构包括加热外壳、加热内胆和第一加热电阻线，加热内胆处于加热外壳的空腔中，第一加热电阻线以螺旋的方式缠绕设置在加热内胆的外壁上，加热结构的另一端设置有冷却结构；预热结构包括预热外壳、第二加热电阻线和预热内胆，预热内胆处于预热外壳的空腔中，第二加热电阻线以螺旋的方式缠绕设置在预热内胆的外壁上。通过设置的预热结构，对进入加热结构的键合线进行预热处理，避免冷热不均匀，导致的退火不均匀等情况出现。

基本信息

专利标题：

一种键合线加热退火装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020873183.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-21

授权号：

CN212223063U

授权日：

2020-12-25

发明人：

何孔田唐文静张军何孔高

申请人：

安徽广宇电子材料有限公司

申请人地址：

安徽省池州市青阳县经济开发区东河园平岗路303号

代理机构：

合肥中博知信知识产权代理有限公司

代理人：

吴栋杰

优先权：

CN202020873183.9

主分类号：

C21D9/573

IPC分类号：

C21D9/573 C21D1/26