一种电化学机械抛光机

授权

摘要

本实用新型公开了一种电化学机械抛光机，包括气缸、导电环、抛光头、透明保护罩、导电盘、安装板和安装框架；所述气缸通过安装板与第一调速电机相连接，并通过固定块固定在安装框架上，所述导电环与抛光头通过上旋转轴相连；所述安装板上固定有气缸活塞杆、双直线导轨和滑块，所述第一调速电机的输出轴通过上联轴器与上旋转轴相连接。本实用新型结合电、化学、机械多能场作用，可实现集成电路制造中互连金属的高效、超精密抛光。

基本信息

专利标题：

一种电化学机械抛光机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020874855.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-22

授权号：

CN212794514U

授权日：

2021-03-26

发明人：

许文虎钟敏吴品杰

申请人：

南昌大学

申请人地址：

江西省南昌市东湖区红谷滩新区学府大道999号

代理机构：

南昌青远专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

唐棉棉

优先权：

CN202020874855.8

主分类号：

B24B37/10

IPC分类号：

B24B37/10 B24B37/34 B24B47/20 B24B57/02 H01L21/304