定位环及化学机械抛光机台
授权
摘要
本发明提供一种定位环及化学机械抛光机台,所述定位环包括环状的基体及沿所述基体的轴向与所述基体层叠设置的结构层,所述结构层包括多条沿垂直于所述基体的轴向设置的条纹;每个所述条纹的延伸方向于所述结构层之外圆周处形成第一交点,所述结构层之外圆周于所述第一交点处的切线与对应的条纹的延伸方向所成的第一夹角在第一预定范围内。通过在结构层上设置多个条纹,并使每个条纹与该条纹对应的基体之外圆周的切线成第一夹角,可以增加结构层的表面粗糙度,以将定位环快速研磨到预定状态,从而节省制程耗费使化学机械抛光机台的研磨均匀性达到工艺要求。
基本信息
专利标题 :
定位环及化学机械抛光机台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111975629A
申请号 :
CN202010872381.8
公开(公告)日 :
2020-11-24
申请日 :
2020-08-26
授权号 :
CN111975629B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
李儒兴张磊
申请人 :
上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曹廷廷
优先权 :
CN202010872381.8
主分类号 :
B24B37/32
IPC分类号 :
B24B37/32 B24B37/10
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/27
工件载体
B24B37/30
用于平面的单侧研磨
B24B37/32
保持环
法律状态
2022-06-03 :
授权
2020-12-11 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/32
申请日 : 20200826
申请日 : 20200826
2020-11-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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