化学机械研磨环及其挠性环
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摘要
本实用新型公开了一种化学机械研磨环及其挠性环。化学机械研磨环包含内环体、外环体与挠性环。内环体包含第一研磨面与第一连接面，第一连接面形成有多个锁孔，各锁孔包含宽口部与螺纹部，宽口部的直径大于螺纹部的直径。外环体环设于内环体外，外环体包含第二研磨面与第二连接面。挠性环设置于内环体的第一连接面，挠性环包含上表面、下表面、多个穿孔以及多个凸壁。各穿孔穿过上表面与下表面且各穿孔个别地对应于内环体的各锁孔，各凸壁设置于上表面且个别地设置于各穿孔的周缘而沿垂直于上表面的方向凸起而恰好容置于各锁孔的宽口部中。
基本信息
专利标题 ：
化学机械研磨环及其挠性环
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921622207.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-26
授权号 ：
CN210938734U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
颜慧贞
申请人 ：
楷丰科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市北区光华北街15号1楼
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
王玉双
优先权 ：
CN201921622207.7
主分类号 ：
B24B37/32
IPC分类号 ：
B24B37/32
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/27
工件载体
B24B37/30
用于平面的单侧研磨
B24B37/32
保持环
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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