本实用新型适用于超纯水制备技术领域，提供了一种多级过滤自循环式的超纯水设备，包括用于净化水源的净化组件和用于提升净化精度的过滤组件，所述净化组件包括工作台，所述工作台的上表面垂直安装有支撑柱，所述支撑柱的一侧安装有净化箱，所述净化箱内部的一侧安装有第一电极板，所述净化箱内部的另一侧安装有第二电极板，所述净化箱的下方设置有蒸馏箱；通过设置所述净化组件，首先液体中的物质与上述两组电极板分别发生氧化反应和还原反应，接着过滤后的水流入到所述蒸馏箱中进行加热，并通过所述引风机将水蒸气送至到所述过滤箱中进行过滤，使本装置对流入的液体进行三次过滤，保证其过滤精度。