本实用新型公开了一种高效率过滤的超纯水设备，涉及超纯水器械领域，包括过滤箱，所述过滤箱底部设置泥水分离组件，所述过滤箱外壁设置在过滤组件；所述泥水分离组件包括处理箱，所述处理箱设置在过滤箱底部，所述处理箱内顶部设置弹簧连接杆，所述弹簧连接杆一端与承载架相连接，所述承载架内上部设置第一筛网，所述第一筛网下侧的承载架内设置第二筛网，所述第二筛网下侧的承载架内设置第三筛网，所述承载架一侧表面设置振动电机，所述处理箱顶部设置进水管，所述处理箱底部设置出水口，本实用新型能够对泥水进行高效分离，提高分离效果，同时多级过滤，能够提高过滤洁净度，过滤效果佳。