本实用新型公开了一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置，包括制备箱体，所述制备箱体的外部对称设置有升降机构，两侧所述升降机构之间设置有调节机构，制备箱体用于对玻璃基板进行加热并进行导电薄膜和掺硼氧化锌膜的低压气相沉积，通过升降机构调节玻璃基板的第二活动块的竖直和水平位置，从而方便安装和取下玻璃基板，通过调节机构可进一步调节固定架的竖直和水平位置，从而实现玻璃基板在加热室、导电薄膜制备室和反散热层制备室之间的位置移动，方便玻璃基板的安装拆卸，集玻璃基板的加热、气相沉积镀膜于一体，方便操作，实用性强。