压电式MEMS麦克风
授权
摘要
本实用新型提供了一种压电式MEMS麦克风，包括基底，安装在所述基底上的振膜，以及与所述振膜间隔设置的保护平板，所述保护平板上设有加强筋。本实用新型通过在压电式MEMS麦克风的保护平板上设置加强筋，使得保护平板的至少部分区域在平行于振膜振动的方向上，具有非矩形的截面，提高了保护平板的结构强度，在振膜的冲击下不容易发生断裂。
基本信息
专利标题 ：
压电式MEMS麦克风
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020897845.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-25
授权号 ：
CN212086487U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
段炼张睿
申请人 ：
瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 ：
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
龙丹丹
优先权 ：
CN202020897845.6
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R7/04
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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