一种压电式MEMS麦克风
授权
摘要
本实用新型提供了一种压电式MEMS麦克风，包括：具有背腔的基座及固定于基座并悬置于背腔的压电振膜，压电振膜包括沿厚度方向依次层叠设置的第一电极层、压电材料层及第二电极层，第一电极层沿厚度方向开设有第一划槽，所述第二电极层沿厚度方向开设有第二划槽，第一划槽与第二划槽划槽由压电材料层分隔且互不连通，第一划槽贯穿第一电极层，第二划槽与背腔连通。本方案在压电振膜的第一电极层开设第一划槽，及在压电振膜的第二电极层开设第二划槽，以减小压电振膜的残余应力，同时保持压电振膜的部分结构完整性，有效避免信噪比损失，保障了压电式MEMS麦克风的性能。
基本信息
专利标题 ：
一种压电式MEMS麦克风
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021042388.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-08
授权号 ：
CN212572962U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
段炼张睿
申请人 ：
瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 ：
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
任哲夫
优先权 ：
CN202021042388.9
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R19/00
法律状态
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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