一种压电式MEMS麦克风
授权
摘要
本实用新型提供了一种压电式MEMS麦克风，包括：具有背腔的基座及压电振膜，压电振膜包括由基座固定支撑的锚定部及与锚定部一体成型的悬臂梁，悬臂梁悬置于背腔上方，悬臂梁包括沿厚度方向依次层叠设置的第一电极层、压电材料层及第二电极层，压电振膜还包括与第一电极层、压电材料层及第二电极层中的至少任意一层贴合固定的相互间隔设置的多个应力层。本方案通过在压电振膜的悬臂梁结构上设置相互间隔的多个应力层，可对压电振膜在压电材料沉积过程中产生的梯度应力进行补偿，减小压电振膜在应力和梯度应力作用下发生翘曲形变，保障了压电式MEMS麦克风的性能。
基本信息
专利标题 ：
一种压电式MEMS麦克风
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021308427.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-06
授权号 ：
CN212572963U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
段炼张睿
申请人 ：
瑞声新能源发展（常州）有限公司科教城分公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进区常武路801号(常州科教城远宇科技大厦)
代理机构 ：
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
王海滨
优先权 ：
CN202021308427.5
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R17/02 H04R23/02
法律状态
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
