一种槽式清洗机
授权
摘要
本实用新型涉及半导体清洁装置技术领域，公开了一种槽式清洗机，包括箱体和安装组件，所述箱体内限定有用于容纳清洁剂的清洁槽，所述安装组件包括安装板、用于安装晶圆的旋转架和旋转驱动装置，所述旋转驱动装置与所述旋转架均安装在所述安装板上，所述旋转架和所述旋转驱动装置的输出端相连，所述安装板可拆卸安装在所述清洁槽的槽口上。采用本实用新型技术方案的槽式清洗机，结构简单，晶圆表面清洗液呈流动状态，对晶圆表面刻蚀均匀性及表面清洁都会得到有效提高，避免了晶圆出现缺陷，提高生产效率和成品率。
基本信息
专利标题 ：
一种槽式清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020899379.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-25
授权号 ：
CN212976079U
授权日 ：
2021-04-16
发明人 ：
郭炳熙刘留周铁军陈勇喻胜举
申请人 ：
广东先导先进材料股份有限公司
申请人地址 ：
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
颜希文
优先权 ：
CN202020899379.5
主分类号 ：
B08B3/04
IPC分类号 ：
B08B3/04 B08B3/08 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
法律状态
2021-04-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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