槽式湿法清洗机
授权
摘要
本实用新型涉及湿法清洗技术领域，尤其是槽式湿法清洗机，外清洗箱、上盖和导管组成的槽式湿法清洗机，所述外清洗箱的内腔套装有中空的内清洗箱，内清洗箱的内腔与导管相通，所述内清洗箱的侧壁上开设有贯穿并延伸至外清洗箱外部的漫槽，所述漫槽位于内清洗箱靠近上盖的一侧且其内腔活动安装有对其密封、与市电相连的电磁铁组件，通电时对其密封的电磁铁组件从漫槽中移出。本实用新型结构简单，操作便捷，能够很好的解决现有技术中槽式湿法清洗过程，对清洗完成的硅片造成二次污染的缺点，具有较强的实用性。
基本信息
专利标题 ：
槽式湿法清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020378099.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-23
授权号 ：
CN212069727U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
周杰张琪李俊毅杨涛
申请人 ：
北京新毅东科技有限公司
申请人地址 ：
北京市石景山区政达路6号院4号楼12层1212
代理机构 ：
合肥律众知识产权代理有限公司
代理人 ：
丁孝涛
优先权 ：
CN202020378099.X
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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