基于氩气和氦气混合气体的等离子体发生装置
授权
摘要
本实用新型提出一种基于氩气和氦气混合气体的等离子体发生装置，包括：等离子体发生装置、激励电源和气体混合装置；所述气体混合装置用于生成含有氩气、氦气和掺杂气体的混合气体；所述等离子体发生装置用于将所述混合气体施加电场，在竖直下方产生等离子体；所述激励电源用于为等离子体发生装置提供高电压激励。其在装置上实现了氩气、氦气和掺杂气体的混合并产生等离子体，使得氦气和氩气的化学特性互补，有助于提升活性粒子的产生效率，增强等离子体射流的化学活性，从而提高应用效果。
基本信息
专利标题 ：
基于氩气和氦气混合气体的等离子体发生装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020926234.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-28
授权号 ：
CN212231793U
授权日 ：
2020-12-25
发明人 ：
何桐桐郑跃胜舒胜文
申请人 ：
福州大学
申请人地址 ：
福建省福州市闽侯县福州大学城乌龙江北大道2号福州大学
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
丘鸿超
优先权 ：
CN202020926234.X
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46
法律状态
2020-12-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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