一种具有高灵敏度的微压力传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有高灵敏度的微压力传感器，包括硼玻璃和感应膜片，所述硼玻璃的正面中心设置有凸台结构，且凸台结构的顶端安置有硅质基底，所述硅质基底的中部设置有十字梁。该具有高灵敏度的微压力传感器通过硅质基底背面中部设有的空腔，在空腔底部腐蚀形成平膜，硅质基底背面与硼玻璃相键合，且留有一定的键合余量，硼玻璃正面中心设置的凸台结构与硅质基底空腔相互配合，并留有一定的工作余量，保证梁膜结构正常工作的同时不会因为过载而损坏，并且使得传感器的限位更加合理，保证梁膜敏感元件不会因为高过载而损坏，在保证传感器高灵敏度的同时，兼具高过载保护能力，另外，该结构设计简单，制造容易，造价更低。
基本信息
专利标题 ：
一种具有高灵敏度的微压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020944290.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-28
授权号 ：
CN211824833U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
刘金涛田边毛彦博付信忠李富乐刘佳林孙立勇汪升森郭晨晨车寿进
申请人 ：
明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司
申请人地址 ：
山东省烟台市经济技术开发区珠江路28号科技大厦1019-2室
代理机构 ：
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 ：
马国冉
优先权 ：
CN202020944290.6
主分类号 ：
G01L1/18
IPC分类号 ：
G01L1/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/18
利用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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