高灵敏度模态耦合型硅谐振压力传感器及其压力计算方法
授权
摘要
本发明公开了高灵敏度模态耦合型硅谐振压力传感器及其压力计算方法,其相比现有传统压力传感器,本方案中的压力传感器通过检测梳齿结构测量第一质量块和第二质量块各自的振动幅值,然后计算它们的振动幅值比,由此将传统的频率检测型硅谐振压力传感器转换为振动幅值型检测,使得传感器的灵敏度以数量级的方式得到了提升。一方面,减小了接口电路噪声对传感器性能的影响,另一方面,越高的灵敏度也意味着越小的物理量检测精度修:越高的灵敏度也意味着越高的检测分辨率,使得本发明的压力传感器可以对极小值的压力物理量进行高精度测量性。
基本信息
专利标题 :
高灵敏度模态耦合型硅谐振压力传感器及其压力计算方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114354024A
申请号 :
CN202210260864.1
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-03-17
授权号 :
CN114354024B
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
胡宗达彭鹏李奇思杨劼立蒲艺
申请人 :
成都凯天电子股份有限公司
申请人地址 :
四川省成都市青羊区西货站515号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202210260864.1
主分类号 :
G01L1/10
IPC分类号 :
G01L1/10 G01L9/00 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/10
通过测量受应力的振动元件的频率变化,例如,受应力的带的
法律状态
2022-06-07 :
授权
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/10
申请日 : 20220317
申请日 : 20220317
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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