本实用新型提供了一种能够消除谐振频率变化中的非线性频率变化的微机电谐振式压力敏感结构，包括：具有密封空腔的基体，设置在基体的顶部的压敏薄膜，设置在密封空腔内、并且中部悬空的弹性悬臂梁，至少一对相对设置在弹性悬臂梁两侧的功能电极，至少一对相对设置在弹性悬臂梁两侧的补偿电极，以及设置在所述压敏薄膜上、并且自所述压敏薄膜向所述基体的底部方向延伸形成的多个锚点；固定补偿电极的锚点在压敏薄膜受压发生形变时随固定弹性悬臂梁的锚点一同位移。本实用新型提供的微机电谐振式压力敏感结构能够在压敏薄膜受压发生形变时，通过锚点传递形变至弹性悬臂梁并消除其谐振频率变化中的非线性频率变化的部分，从而提高测量的准确性。