一种具有高灵敏度的复合式高压传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有高灵敏度的复合式高压传感器，包括传力杆、硅梁敏感元件和承压弹性元件，所述承压弹性元件的中部固定有圆膜片，所述传力杆固定于圆膜片的中心位置，所述硅梁敏感元件安装于承压弹性元件的上方外侧四周，所述硅梁敏感元件的背面固定有第一长梁和第二长梁，且第一长梁和第二长梁的之间构成有十字梁，所述十字梁的末端分布有压敏电阻，所述压敏电阻之间连接有引线，且引线的另一端安装于焊盘，所述硅梁敏感元件的背部空腔底部固定有一级凸台。该具有高灵敏度的复合式高压传感器在普通“田字形”结构传感器的前端采用圆膜片，可有效的将传力杆传递的压力降至介质压力初始状态的十分之一左右。
基本信息
专利标题 ：
一种具有高灵敏度的复合式高压传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021081597.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-12
授权号 ：
CN211904496U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
刘金涛田边毛彦博
申请人 ：
明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司
申请人地址 ：
山东省烟台市经济技术开发区珠江路28号科技大厦1019-2室
代理机构 ：
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 ：
潘剑敏
优先权 ：
CN202021081597.4
主分类号 ：
G01L1/18
IPC分类号 ：
G01L1/18 G01L9/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/18
利用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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