硅晶片检测用环形LED光源
授权
摘要
本实用新型涉及硅晶片检测用环形LED光源，采用单色黄光LED，单色黄光LED灯在检测中，能够解决普通光源对于硅晶片造成的曝光变性问题，在所呈图像中mark点与背景之间能够形成明显的灰度对比，使得mark点能够被计算机简单的识别定位。
基本信息
专利标题 ：
硅晶片检测用环形LED光源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020973504.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-28
授权号 ：
CN212132062U
授权日 ：
2020-12-11
发明人 ：
沈火金王千贵徐磊
申请人 ：
东冠科技(上海)有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼633－11室
代理机构 ：
上海脱颖律师事务所
代理人 ：
李强
优先权 ：
CN202020973504.2
主分类号 ：
F21K9/20
IPC分类号 ：
F21K9/20 F21V19/00 G01N21/88 F21Y107/10 F21Y115/10
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法律状态
2020-12-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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