样品承载装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种样品承载装置，用于X射线形貌仪中测试晶圆的X射线形貌像，所述样品承载装置包括基座和设置于所述基座上的样品承载台，所述样品承载装置还包括设置于所述样品承载台的边缘、或围设于所述样品承载台的四周的围挡结构，以及用于对放置于所述样品承载台上的样品进行定位的定位结构；所述定位结构包括多个同心圆标记，多个所述同心圆标记设置于所述样品承载台的承载面上、并以所述承载面的中心点为圆心，所述承载面上设置有表示多个所述同心圆标记的直径的刻度。

基本信息

专利标题：

样品承载装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020977956.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-02

授权号：

CN212180659U

授权日：

2020-12-18

发明人：

李阳

申请人：

西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请人地址：

陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司

代理人：

许静

优先权：

CN202020977956.8

主分类号：

G01N23/20025

IPC分类号：

G01N23/20025 G01N23/2204 G01B15/04