样品承载结构及方法

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摘要

一种样品承载结构，包括：样品载台，经设置以承载半导体工艺样品；以及样品支座，经设置以承载所述样品载台，其中:所述样品载台包括远离所述样品支座的表面以承载所述半导体工艺样品以及邻近所述样品支座的表面，而所述样品载台邻近所述样品支座的所述表面上设置有至少三个突出部；所述样品支座包括承载部、光学感测器以及压力感测器，其中:所述承载部用以承载所述样品载台的第一部的表面上设置有至少三个定位凹槽以分别容置所述样品载台的所述至少三个突出部，所述光学感测器设置于所述样品支座的第一部的一侧并邻近所述样品载台；以及所述压力感测器，设置于所述至少三个定位凹槽之至少二个内，以感测所述突出部是否接触所述压力感测器。

基本信息

专利标题：

样品承载结构及方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112908815A

申请号：

CN202110301902.9

公开（公告）日：

2021-06-04

申请日：

2021-03-22

授权号：

CN112908815B

授权日：

2022-04-15

发明人：

曾卓

申请人：

长江存储科技有限责任公司

申请人地址：

湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司

代理人：

李新干

优先权：

CN202110301902.9

主分类号：

H01J37/20

IPC分类号：

H01J37/20 H01J37/02 H01J37/244