用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置
授权
摘要
本实用新型属于半导体用石英环的台阶检测装置领域，具体涉及一种检测装置。用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置，包括底座、检测台、千分表、电感测微仪和固定装置，千分表和电感测微仪通过表架设置在检测台上，检测台上方挖设有第一通孔，电感测微仪的探针朝向第一通孔，固定装置位于检测台的前侧面下方；检测台倾斜的设置在底座上，检测台台面设有气孔，检测台内中部设有空腔，空腔通过进气开关与外部气源连接。本实用新型可同时进行两个平面台阶深度的检测，提高检测速度，操作简单，提高了检测准确性，效率高、成本低，减少资源浪费。
基本信息
专利标题 ：
用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020986487.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-03
授权号 ：
CN212030422U
授权日 ：
2020-11-27
发明人 ：
单佩
申请人 ：
上海菲利华石创科技有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区马陆镇博学路509号1幢1-4层A区、地下1层A区
代理机构 ：
上海梵恒知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王裕
优先权 ：
CN202020986487.6
主分类号 ：
G01B5/18
IPC分类号 ：
G01B5/18 G01B7/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
G01B5/18
用于计量深度
法律状态
2020-11-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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