一种石英坩埚检测装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种石英坩埚检测装置,包括可转动底板组件、图像采集单元、伸缩旋转机构和图像处理单元,其中,所述可转动底板组件用于放置待测的石英坩埚,以使所述石英坩埚能够绕其中心轴转动;所述图像采集单元通过所述伸缩旋转机构安装在所述可转动底板组件上,以使所述伸缩旋转机构带动所述图像采集单元进行平移和旋转运动,进而采集所述石英坩埚的表面图像;所述图像处理单元电连接所述图像采集单元,用于根据所述表面图像判断所述石英坩埚是否存在缺陷。本实用新型的装置通过图像采集单元对石英坩埚表面进行图像采集,并通过图像处理单元对缺陷进行提取记录,能够自动全方位地检测石英坩埚上是否存在缺陷。

基本信息
专利标题 :
一种石英坩埚检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922092213.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-28
授权号 :
CN211292626U
授权日 :
2020-08-18
发明人 :
蒲以松惠聪王腾杨帅军
申请人 :
西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
代理机构 :
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘长春
优先权 :
CN201922092213.2
主分类号 :
G01N21/896
IPC分类号 :
G01N21/896  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/89
在移动的材料中,例如,纸张、织物中
G01N21/892
特征在于待测的瑕疵、缺陷或物品的特点
G01N21/896
透明材料之中或表面的光学缺陷,例如形变、表面瑕疵
法律状态
2020-08-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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