石英坩埚弧度间隙自动检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种石英坩埚弧度间隙自动检测装置,其包括卡板、翼板,卡板的外侧板面上固定连接有翼板;卡板包括第一弧形段、竖直段,第一弧形段与竖直段之间固定连接有第二弧形段,第一弧形段的弧度与石英坩埚的底壁弧度相匹配。本实用新型的优点:通过第一激光测距传感器、第二激光测距传感器对石英坩埚的底壁弧度进行检测,节省了人力,同时减少了人为操作的误差,保证了读数准确,操作方便,节省了操作时间,提高了工作效率,一人即可完成整个测量工作,节省人力;在直壁定位板的作用下使得该装置与石英坩埚的直壁贴合,使得第一弧形段沿石英坩埚的径向设置,第一弧形段能过石英坩埚的轴线,保证了测量的准确性。
基本信息
专利标题 :
石英坩埚弧度间隙自动检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122907400.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-24
授权号 :
CN216668612U
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
毛磊何文兵杜兴林韩君勇马俊飞
申请人 :
内蒙古欧晶科技股份有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街31号
代理机构 :
内蒙古欣洋瑞专利代理有限公司
代理人 :
汪介方
优先权 :
CN202122907400.9
主分类号 :
G01B11/14
IPC分类号 :
G01B11/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/14
用于计量相隔的物体或孔的间距或间隙
法律状态
2022-06-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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