一种微形变压力传感器及装置

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摘要

本实用新型实施例公开了一种微形变压力传感器及装置。该微形变压力传感器包括第一刚性衬底、第二刚性衬底、导电薄膜和两个电极；所述导电薄膜位于所述第一刚性衬底和所述第二刚性衬底之间；所述两个电极位于所述导电薄膜的两端，且分别与所述导电薄膜电连接。本实用新型实施例利用导电薄膜的微形变进行压力测量，解决了现有压力传感器形变量过大而导致压力测量存在误差的问题，使微形变过程实现为压力测量过程，保证了压力测量的准确度和精度，改善了压力测量的灵敏度。

基本信息

专利标题：

一种微形变压力传感器及装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021065587.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-10

授权号：

CN212059194U

授权日：

2020-12-01

发明人：

吕垒陆前军吴先燕何志强

申请人：

东莞市中图半导体科技有限公司

申请人地址：

广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业北二路4号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN202021065587.1

主分类号：

G01L1/18

IPC分类号：

G01L1/18