一种多台单晶炉抽气管道
授权
摘要
本实用新型公开了一种多台单晶炉抽气管道，包括n台并联连接的单晶炉(1)和n‑1台并联连接的真空泵(2)，n台所述单晶炉(1)构成单晶炉(1)模块，n‑1台所述真空泵(2)构成真空泵(2)模块，所述单晶炉(1)模块和所述真空泵(2)模块通过管道串联连接，每台单晶炉(1)和每台真空泵(2)所在的支路上均设置有调节阀(3)，n为大于等于3的自然数。应用本实用新型实施例所提供的技术方案，n台单晶炉(1)配备n‑1台真空泵(2)进行抽真空和保压操作，节约了一台真空泵(2)和其他生产资源，降低了每台单晶炉(1)的设备成本，节约单晶炉(1)生产过程中的电能和氩气等资源消耗。
基本信息
专利标题 ：
一种多台单晶炉抽气管道
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021076098.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-11
授权号 ：
CN212476956U
授权日 ：
2021-02-05
发明人 ：
苏腾肖贵云卢亮邹江华祝建华张涛金浩
申请人 ：
晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请人地址 ：
江西省上饶市经济开发区晶科大道1号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
孔祥贵
优先权 ：
CN202021076098.6
主分类号 ：
C30B35/00
IPC分类号 ：
C30B35/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B35/00
未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的装置
法律状态
2021-02-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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