抽气管道及具有其的单晶炉
授权
摘要
本申请涉及一种抽气管道及具有其的单晶炉，其中抽气管道包括清洁管路、清洁口封盖和燃烧阀。其中，清洁口封盖固定安装在清洁管路的第一开口端，用于密封清洁管路的第一开口，燃烧阀固定安装在清洁管路的管壁上，且邻近清洁口封盖，燃烧阀，适用于清理单晶炉的抽气管道时，在开启清洁口封盖之前打开，以使清洁管路的内腔与外部连通。通过提前开启燃烧阀使粉尘状氧化物先与外部少量空气中氧气充分燃烧，有效防止了清理抽气管道时产生的爆燃现象，大大提高了抽气管道清洁工作的安全性。
基本信息
专利标题 ：
抽气管道及具有其的单晶炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921000004.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-28
授权号 ：
CN210341122U
授权日 ：
2020-04-17
发明人 ：
吴天舒关树军陈辉
申请人 ：
北京天能运通晶体技术有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济开发区经海路科创十五街1号
代理机构 ：
北京市鼎立东审知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈佳妹
优先权 ：
CN201921000004.4
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
2020-04-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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