用于单晶炉的石英坩埚及具有其的单晶炉
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摘要

本实用新型公开了一种用于单晶炉的石英坩埚及具有其的单晶炉,用于单晶炉的石英坩埚包括:石英坩埚本体,包括底壁以及设在底壁的周缘且向上延伸的周壁,底壁的内表面形成有安装部;石英配合部件,邻近安装部的一侧形成有配合部,配合部与安装部相匹配以使石英配合部件与石英坩埚本体相连,当石英配合部件装配在石英坩埚本体上时,石英配合部件的一部分向上凸出于底壁的内表面。根据本实用新型的用于单晶炉的石英坩埚,通过配合部与安装部的配合,可实现石英配合部件与石英坩埚本体之间的可靠装配,一方面提供氧源,提高晶棒的氧含量。另一方面也防止单纯石英配合部件投放到溶液中可能会漂浮,导致晶棒失去单晶结构,使得拉晶失败。

基本信息
专利标题 :
用于单晶炉的石英坩埚及具有其的单晶炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021409031.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-16
授权号 :
CN213203277U
授权日 :
2021-05-14
发明人 :
薛抗美黄末陈翼刘奇
申请人 :
徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号
代理机构 :
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
徐章伟
优先权 :
CN202021409031.X
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B15/10  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2021-05-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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