高良品率加厚型单晶石英坩埚及其制备工艺
实质审查的生效
摘要

本发明公开了高良品率加厚型单晶石英坩埚,包括坩埚本体和涂覆于坩埚本体内壁的碳化硅涂层与氮化硅涂层,所述坩埚本体包括以下原料:高纯石英砂、粘接剂、偶联剂、填料,所述高纯石英砂是含有以下掺杂元素的二氧化硅材料:铝、硼、钙、铬、铁、锂、镁、钒、镍、钪、钨。本发明将高纯石英砂与粘接剂、填料和偶联剂进行混合得到的石英坩埚具有较好的粘度,粘接剂能够对高纯石英砂进行改性处理,使得石英砂的表面孔隙增加与填料和偶联剂进行混合,然后经过烧结处理后能够使得石英砂的表面得到较好的粗化效果,石英坩埚的粘度效果更好,所以石英坩埚的抗变形效果更好,具有一定抗析晶的特性,从而能够提高单晶硅生产时的成品率。

基本信息
专利标题 :
高良品率加厚型单晶石英坩埚及其制备工艺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114368901A
申请号 :
CN202111632496.0
公开(公告)日 :
2022-04-19
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张国忠高文送汪涵朱海江李国洪朱燕亚
申请人 :
无锡市尚领石英科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市江阴市徐霞客镇璜塘工业园区富业路8号
代理机构 :
江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
仲红敏
优先权 :
CN202111632496.0
主分类号 :
C03C3/093
IPC分类号 :
C03C3/093  C03C3/06  C03B19/06  C03C17/00  C03C17/34  C30B15/10  C30B29/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C03
玻璃;矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分;玻璃的表面处理;由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理;玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C3/00
玻璃组成
C03C3/04
含二氧化硅
C03C3/076
用40%至90%的二氧化硅
C03C3/089
含硼
C03C3/091
含铝
C03C3/093
含锌或锆
法律状态
2022-05-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C03C 3/093
申请日 : 20211228
2022-04-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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