单晶炉石英坩埚的升降装置

授权

摘要

本实用新型公开一种单晶炉石英坩埚的升降装置，包括底座，所述底座的上表面中部设有升降机构，升降机构的上端面设有旋转机构，旋转机构的输出轴连接有坩埚，底座的上端面设有螺杆，螺杆的外侧面上端套接有环形定位板，螺杆的外侧面靠近环形定位板的下表面的一端螺纹连接有第二螺母，螺杆的外侧面上端螺纹连接有第一螺母，本单晶炉石英坩埚的升降装置，结构紧凑，操作方便，使用时占用空间小，可以对工作中的坩埚起到很好的减震作用，同时又能对坩埚进行升降调节，通过带头螺柱可以将万向球轴承紧压在坩埚的外表面，方便了坩埚的定位，通过带头螺柱可以对大小不同的坩埚进行卡接定位。

基本信息

专利标题：

单晶炉石英坩埚的升降装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920585430.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-26

授权号：

CN210085624U

授权日：

2020-02-18

发明人：

魏海宁林希宪张艳辉

申请人：

徐州晶睿半导体装备科技有限公司

申请人地址：

江苏省徐州市徐州经济技术开发区鑫芯路1号

代理机构：

北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

华德明

优先权：

CN201920585430.2

主分类号：

C30B35/00

IPC分类号：

C30B35/00