一种防止直拉单晶硅石英坩埚变形的装置

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摘要

本实用新型公开了一种防止直拉单晶硅石英坩埚变形的装置。该装置包括石墨坩埚、石英坩埚、卡箍、定位螺丝；石英坩埚置于石墨坩埚内，卡箍设置在石英坩埚和石墨坩埚的上端，并且石英坩埚和石墨坩埚的上缘嵌入卡箍的凹槽内，卡箍和石墨坩埚上分别设有相互对应的定位孔，并通过定位螺丝固定。本实用新型的装置能够防止直拉单晶硅熔料过程中，由于坩埚软化严重或者石英坩埚上端挂料严重而变形的现象发生；保证单晶拉制的基本条件，避免不必要的损失。加装本实用新型的装置后，可以适当提高熔料功率，减少熔料时间，降低成本。

基本信息

专利标题：

一种防止直拉单晶硅石英坩埚变形的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922260970.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-13

授权号：

CN211284617U

授权日：

2020-08-18

发明人：

秦瑞锋鲁强连庆伟崔维学盖晶虎姜舰

申请人：

山东有研半导体材料有限公司

申请人地址：

山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号（中元科技创新创业园）A座921室

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司

代理人：

刘秀青

优先权：

CN201922260970.6

主分类号：

C30B15/12

IPC分类号：

C30B15/12 C30B29/06