直拉式单晶硅棒的生产设备

授权

摘要

本实用新型提供一种直拉式单晶硅棒的生产设备，包括：炉腔、炉底座，炉底座上开设供坩埚托杆升降的通孔，还包括设置在炉腔和炉底座内侧的保温结构、设置在炉腔和炉底座外壁的多个微波发射器、设置在坩埚托杆上或是设置在石英坩埚与坩埚托杆之间的微波热源坩埚，炉腔金属外壁和炉底座金属外壁上与各微波发射器相对应位置开设供微波通过的微波馈孔，所述微波发射器用于向炉腔发射微波，所述微波热源坩埚用于将微波转化为热能。本实用新型采用微波能作为能量源加热熔融硅料，减少了热能层层传递而引起的热量损失，可以提高效率，同时降低能耗。精简了炉腔结构，去除了传统的石墨电极和石墨加热器，使腔内空间增大，可以增大坩埚尺寸，提高硅料装填率，提高生产效率。

基本信息

专利标题：

直拉式单晶硅棒的生产设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922125799.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-02

授权号：

CN211057274U

授权日：

2020-07-21

发明人：

张小飞张纪尧

申请人：

大连威凯特科技有限公司

申请人地址：

辽宁省大连市甘井子区营城子镇工业园区营日路40号-1、40号-2、40号-3

代理机构：

大连东方专利代理有限责任公司

代理人：

李馨

优先权：

CN201922125799.8

主分类号：

C30B29/06

IPC分类号：

C30B29/06 C30B15/12 C30B15/16