单晶硅生产设备
专利申请的视为撤回
摘要
一种大直径单晶硅生产设备，具有一旋转式石英坩埚、一电阻式加热器、一具有连通孔的石英分隔件、一保温盖等。开在分隔件上的连通孔其横截面的总面积A，当原料进料速度在30与50克/分子之间时在80与100平方毫米之间，当原料进料速度在50至80克/分的范围时不小于130平方毫米，但不大于1200平方毫米，当原料进料速度在80至130克/分的范围时不小于220平方毫米，但不大于1600平方毫米。
基本信息
专利标题 ：
单晶硅生产设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1056135A
申请号 ：
CN91102532.4
公开（公告）日 ：
1991-11-13
申请日 ：
1991-04-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
神尾宽荒木健治兼头武
申请人 ：
日本钢管株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国专利代理有限公司
代理人 ：
肖掬昌
优先权 ：
CN91102532.4
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00 C30B29/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
1994-01-12 ：
专利申请的视为撤回
1992-08-26 ：
实质审查请求已生效的专利申请
1991-11-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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