一种直拉法单晶硅炉热场自动拆除设备
授权
摘要
本实用新型属于光伏、半导体技术领域，公开了一种直拉法单晶硅炉热场自动拆除设备。包括平行机械手、旋转机械手、机械手升降装置、水平伺服移动机械臂，所述水平伺服移动机械臂两侧分别设有机械手升降装置，其中一个机械手升降装置底部设置平行机械手，另一个机械手升降装置底部设置旋转机械手；所述水平伺服移动机械臂上设有升降装置，所述升降装置底部连接有伺服回转装置；所述设备整体设置在行走AGV车上，整个设备还外配有物料小车。本实用新型提供的单晶硅炉热场自动拆除设备运用工业自动化技术和耐高温材料，实现在高温条件下自动拆除单晶硅炉热场，可以有效缩短冷却等待时间，提高单晶硅炉的使用效率。
基本信息
专利标题 ：
一种直拉法单晶硅炉热场自动拆除设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120424875.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-02-26
授权号 ：
CN216514246U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
吴德强鞠修勇孙亮李强高英贤郑家坤杨希
申请人 ：
连智（大连）智能科技有限公司
申请人地址 ：
辽宁省大连市甘井子区虹港路2号5-6层
代理机构 ：
大连智高专利事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张钦
优先权 ：
CN202120424875.X
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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