一种涂层机靶材装夹结构
授权
摘要
本实用新型提供了一种涂层机的靶材装夹结构，包括靶材，以及用于放置靶材的半圆形置放槽；所述置放槽设有自槽底向置放槽上端面延伸的板体，所述置放槽顶部开口，置放槽与板体相对的另一侧设置为开口；所述置放槽内壁面设有多个等间距分布且相对壁面向下凹陷的夹槽；所述靶材外周设有一圈相对周侧端面凸起，且与夹槽相配合的凸条，用于所述夹槽夹住靶材凸条。该结构简单，且实用性强，能实现快速便捷的装夹及拆卸，提高工作效率。优化了原有靶材装夹夹具结构的装配方式，实现了靶材更换的即插即用；大大提高了生产效率，缩短了靶材更换装夹的操作时间；也减少了多余零配件的使用和维护，从而降低了生产成本和维护成本。
基本信息
专利标题 ：
一种涂层机靶材装夹结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021141059.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-18
授权号 ：
CN212800521U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
傅铭桓
申请人 ：
广州巴达精密刀具有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市花都区花山镇菊花石大道288号祈福工业城A5厂房
代理机构 ：
广州圣理华知识产权代理有限公司
代理人 ：
顿海舟
优先权 ：
CN202021141059.X
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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