一种直条靶材装夹机构

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摘要

本实用新型涉及靶材供料技术领域，尤其公开了一种直条靶材装夹机构，包括用于承载直条靶材的载架、设置于载架并用于加热蒸发直条靶材的加热单元、用于冷却载架所承载的直条靶材的冷却单元、设置于载架并作用于直条靶材蒸发后的靶材离子的磁铁；实际使用时，将直条靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的直条靶材加热蒸发成靶材离子进行供料，借助冷却单元冷却直条靶材，避免直条靶材温度过高而炸裂；直条靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。

基本信息

专利标题：

一种直条靶材装夹机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020925908.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-27

授权号：

CN212955312U

授权日：

2021-04-13

发明人：

王俊锋王锋袁明

申请人：

广东鼎泰机器人科技有限公司

申请人地址：

广东省东莞市厚街镇赤岭村工业区一横南路12号

代理机构：

东莞市华南专利商标事务所有限公司

代理人：

田小伟

优先权：

CN202020925908.4

主分类号：

C23C14/32

IPC分类号：

C23C14/32