一种靶材背板的装夹装置
授权
摘要
本实用新型提供一种靶材背板的装夹装置，所述靶材背板的装夹装置通过改进装夹的齿形结构，并增设第三齿形夹块组，增加了工件的放置位置，不仅提高了清洗效率，而且有效克服了工件产品较多时滞留现场出现的氧化问题以及大量产品占用设备产能和现场空间的问题，具有良好的应用价值。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材背板的装夹装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020877552.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-22
授权号 ：
CN212270246U
授权日 ：
2021-01-01
发明人 ：
姚力军潘杰边逸军王学泽王徐
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
王岩
优先权 ：
CN202020877552.1
主分类号 ：
C23G3/00
IPC分类号 ：
C23G3/00 B08B13/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23G
电解法除外的化学法金属材料清洗及除油
C23G3/00
金属材料清洗或酸洗用的设备
法律状态
2021-01-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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