一种晶圆位置检测校对装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆位置检测校对装置,涉及晶圆加工技术领域,包括:支架、旋转组件、显微镜、激光灯、调节结构和减震组件,所述支架的底部安装有调节结构,所述连接杆的另一端竖直安装有显微镜,所述显微镜的一侧安装有激光灯,所述旋转组件安装在调节结构的顶部,通过设置旋转组件和调节结构,纵向马达和横向马达作业时,改变旋转组件的位置,能够实现微调,通过三组激光的照射点均落在定位杆顶部端面上,表示将晶圆的位置调至到显微镜的正下方,能够实现多点定位,提高检测的准确性,旋转马达做间歇式作业,能够实现旋转盘的旋转,在轮转的过程中,补料、取料和检测可以同步进行,能够实现周期循环,提高检测的效率,提高检测的精度。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆位置检测校对装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021146687.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-19
授权号 :
CN213022913U
授权日 :
2021-04-20
发明人 :
莫景钊叶纬莫景新
申请人 :
广东唯是晶圆科技有限公司
申请人地址 :
广东省江门市新会装备产业园大泽园区办公楼101室
代理机构 :
北京卓特专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
段宇
优先权 :
CN202021146687.7
主分类号 :
G01N21/956
IPC分类号 :
G01N21/956 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/956
检测物品表面上的图案
法律状态
2021-04-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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