一种氦质谱检漏仪

授权

摘要

本实用新型涉及一种氦质谱检漏仪，其包括上下两层的推车、设于推车上层的氦质谱检漏仪本体及设置在推车下层的机械泵，氦质谱检漏仪本体顶部设有工作台，工作台顶部放置有标准漏孔件，工作台上方设置有固定架，固定架包括底板，底板上均匀设有若干容纳槽，若干容纳槽整齐的排为一排，每一容纳槽一侧均竖直设有第一加固杆，第一加固杆上通过锁紧装置可滑动固定有固定夹，标准漏孔件的底座可放置在容纳槽内，标准漏孔件的本体可通过固定夹加固。本实用新型的氦质谱检漏仪在使用时可稳固的将标准漏孔件固定在固定架上，方便标准漏孔件的存储，有效的减小不必要的损失，提高装置的使用寿命。

基本信息

专利标题：

一种氦质谱检漏仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021158351.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-19

授权号：

CN212779788U

授权日：

2021-03-23

发明人：

孟沛泽

申请人：

北京华芯微半导体有限公司

申请人地址：

北京市海淀区上地信息路1号国际科技创业园2号楼1703

代理机构：

北京维正专利代理有限公司

代理人：

孙铭侦

优先权：

CN202021158351.2

主分类号：

G01M3/20

IPC分类号：

G01M3/20